三坐標測量儀一般都采用氣浮軸承，因此需要壓縮空氣；壓縮空氣的質量直接影響三坐標測量儀的正常工作及使用壽命；因此氣源處理，就顯得尤為重要。一般來說，三坐標測量儀的氣源的雜質主要來源于：由系統外部通過空壓機等吸入的雜質、系統內部產生的雜質和系統安裝和維修時產生的雜質；
1.從空壓機輸出的壓縮空氣中，含有大量的水分，油分和粉塵等雜質，必須適當的清除這些雜質，以避免他們對氣動系統的正常工作造成的危害；
2.變質油分的粘度增大，從液態鑄件固態化而形成油泥，這樣會堵塞氣浮塊的氣孔，造成氣動元件內的相對運動件的動作不靈活。水分會腐蝕金屬零件，管道內滯留冷凝水，會導致流量不足，壓力損失增大。鐵屑和粉塵使運動部件磨損，造成元件動作不良，粉塵會加速密封件損傷，導致漏氣。
3.空氣質量不良也是氣動系統出現故障的主要的因素，使氣動系統的可靠性和使用壽命大大降低。
因此，三坐標測量儀一般都配備氣源處理組件，進行壓縮空氣的凈化處理；
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